恒运昌 光刻机射频电源

四代射频电源产品线（含光刻配套型号）
CSL 初代：入门级，适配成熟制程光刻配套清洗机
Bestda 二代：主力量产机型，国内首台可原位替换进口 MKS/AE，7–14nm 制程光刻 / 刻蚀通用，2021 年批量供货中芯国际光刻配套产线36氪
Aspen 三代：高精密低纹波，适配先进制程光刻等离子预处理、超薄薄膜工艺
Cedar 四代（在验证）
射频电源 + 匹配器一体化集成，多阻抗自适应、高速数据采集，面向更先进制程光刻、刻蚀设备，2025 年底完成样机验证，未来配套国产先进光刻产线。

打破海外垄断

全球射频电源长期由美国 MKS、AE 垄断，国内国产化率不足 12%；恒运昌国产市占率第一，可直接替换进口电源用于光刻配套设备维修、新机装机。

光刻工艺适配特性
超低输出纹波、等离子体稳定性高，保障光刻后晶圆表面均匀处理，避免图形损伤；宽功率覆盖 1kW–几十 kW，匹配涂胶 / 去胶 / 清洗全类型光刻配套设备。

一体化匹配器方案
电源 + 自动阻抗匹配器成套出货，缩短光刻设备整机调试周期，适配国产光刻设备国产化替代需求。

设备整机客户：拓荆科技（第一大客户兼股东）、中微、北方华创、盛美上海、国产涂胶显影 / 去胶设备厂商；

晶圆终端：中芯国际、长江存储等，配套其光刻制造产线的等离子清洗、去胶工位；

业务模式：新机配套装机 + 存量进口射频电源替换维修（光刻产线备件国产替代）。

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