中科仪是华虹半导体（含华虹宏力/华力微）的核心国产干泵供应商，深度绑定其14nm/90nm/28nm产线，直接受益华虹扩产与国产替代。
一、合作关系（核心客户+批量供货）
- 华虹半导体（集团）：旗下华虹宏力（90/65/28nm）、华力微电子（14nm先进逻辑）
- 中科仪角色：华虹核心干式真空泵供应商，2018年起批量导入，覆盖刻蚀/沉积/清洗全工艺
- 合作深度：
- 产品：全系列干泵（清洁/中等/苛刻工艺），适配14nm先进制程
- 规模：华虹为前五大客户，2024年营收占比约8-10%，
- 认证：连续多年获评华虹优秀供应商，与中芯国际、长江存储同列
二、产品应用场景（华虹产线全覆盖）
- 华虹宏力（上海）：90/65/28nm逻辑/功率器件产线，批量供货多年
- 华力微（上海）：14nm先进逻辑产线，国产干泵唯一批量供应商
- 华虹无锡：12英寸28nm及以下新产线，2023-2025年持续放量
- 工艺覆盖：刻蚀（干法）、薄膜沉积（CVD/PVD）、离子注入、清洗等前道核心工序
三、华虹扩产→中科仪业绩增量（2026-2028）
1. 华虹扩产计划
- 无锡二期：新增2条12英寸28nm产线，2026-2027投产
- 华力微扩产：14nm产能翻倍，布局7nm研发
2. 干泵需求测算
- 1条12英寸产线：干泵需求300-500台，对应中科仪订单0.5-0.8亿元
- 华虹2026-2027新增：≥3条线→新增订单1.5-2.4亿元
3. 维保+替换市场
- 存量产线干泵5-8年更换，华虹存量设备年维保/替换需求≥5000万元
四、竞争格局（中科仪 vs 海外厂商）
- 海外（爱德华、荏原、ULVAC）：华虹传统主力供应商，市占率60-70%
- 中科仪：国产唯一全工艺/先进制程干泵，华虹市占率20-25%，持续提升
- 核心优势：价格低30-40%+交付快+本地化服务+国产替代政策倾斜
五、投资要点（华虹视角）
- ✅ 深度绑定华虹：14nm/28nm产线核心供应商，订单确定性强
- ✅ 扩产弹性大：无锡二期+华力微扩产，2026-2028业绩增量显著
- ✅ 国产替代加速：政策推动+性价比优势，市占率有望从25%→40%+
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