【东方钽业】马斯克颠覆EUV光刻机 FEL路线商业化将充分受益

2026-08-10 13:52:0810
一、有博主发布消息称,从TeraFab发布的消息看来,Elon Musk似乎要搞FEL(Free electronlaser:自由激光器)路线,颠覆传统EUV的垄断。


随后,Elon Musk的回复,似乎印证了这种说法


二、东方钽业:FEL光刻技术突破在即,锯超导腔需求激增


随着国家大科学装置持续落地,粒子加速器对超导银材及昵超导腔需求攀升,SHINE等在建项目至2029年规划需求859支超导腔。自由电子激光(FEL)当下FEL技术已进入实验试用阶段,作为下一代EUV光刻机光源重点方向,至2030年,其技术突破将有望催生对银超导腔的需求超200亿。东方钽业子公司东方超导为全球超导银腔/材龙头(超导铌材市占率60%),若FEL路线商业化,公司有望充分受益。叠加国产替代对日反制,光刻机将迎来新增长曲线。

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标签: 光刻机超导

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